光谱分析仪的内标是用于动态校正样品和标准之间物理差异，所有样品都跟同一元素进行比对而进行校正的，根据内标元素信号的降低或者增强来对样品进行校正。内标抗干扰能力强，并且能解决物理方面造成的差异。
由于激发源条件变化等原因，谱线绝对强度再现性较差,所以在实际光谱分析时一般采用相对强度,选用一条比较谱线,用分析线与比较线强度比进行光谱定量分析，所采用的比较线称为内标线或参比线，提供这种比较线的元素称为内标元素。
一般以被测样品基体作为内标元素,以内标元素的一条或几条谱线作为内标线，如分析钢铁时以铁为内标元素。以CCD为检测器的仪器则没有出射狭缝，其波长示值误差就是实际的谱线波长误差，其检定方法与ICP光谱类似。谱线标准值一般软件里有注明，也可查询美国国家标准与技术研究院(NIST)标准光谱谱线库。
